BETWA西汉姆联

11月6日，第十二届中国（绵阳）科技城国际科技展览会（简称科博会）在四川绵阳盛大开幕。。。本届科博会以“科创引领·新质转化·盛开合作”为主题，蕴含战术科技、、前沿科技、、国际合作、、中国（西部）科学城等4个专题展和航空航天国防科技主题展。。。BETWA西汉姆联受邀参与本届科博会，为大会带来了半导体设备和零部件以及新资料、、新器件领域的最新成就。。。

 

 

△BETWA西汉姆联展位

本届科博会，BETWA西汉姆联重要展出了半导体设备和零部件领域的射频电源、、远程等离子体源、、真空高速蝶阀、、SiC资料制备和器件制作成套设备，以及新资料、、新器件领域的先进轻质耐热钛铝合金资料及器件、、紧凑型乘用车非充气轮胎、、两轮电动车非充气轮胎。。。

○射频电源

 

RF-13.56M-3000、、RF-27.12M-3000射频电源不变的频率及功率输出个性使其极度合用于提供真空腔室等离子体放电所需的射频能量，重要利用于集成电路的等离子刻蚀、、等离子沉积以及等离子溅射等工艺设备，是极大规模集成电路制作设备及成套工艺的主题零部件产品。。。

○远程等离子源

选取2.45GHz微波能量将输入谐振腔的工艺气体离化成等离子体状态。。。对于绝大无数工艺体，本远程等离子源的离化率能够超过95%，拥有危险小、、效能高、、不变性好、、易守护等优势。。。

○真空高速蝶阀

 

蝶阀内部集成的压力节制器通过选取自适应节制算法，急剧且精准地推算所需阀门地位，使其可能在分歧的真空环境中急剧、、无超和谐精准节制真空设备压力。。。同时使用高精度电机调节阀门地位，实现阀门的急剧、、精准定位。。。

○SiC高温外延成长设备

 

该设备重点攻克耐高温耐侵蚀资料反映室设计技术、、均匀高温加热场设计、、高精度温度节制技术、、高温真空低漏率设计技术，旋转系统设计、、膜厚及理论描摹的高精度实时监控技术、、SiC高速外延工艺技术等主题关键技术，成功实现大尺寸化、、高速出产化、、高良率化、、低能耗化、、全自动化，研发出满足高速SiC外延成长要求的高温外延成长设备，实现了国产设备自主可控和批量利用，推动我国第三代半导体产业自主可控发展。。。

○先进轻质耐热钛铝合金资料及器件

针对现有钛铝资料承温低，熔炼、、热加工成本高，难以在先进内燃机实现工程利用的瓶颈问题，发了然承温达800℃的钛铝资料，创新出钛铝合金低成本熔炼、、变形等关键技术，申请了20余项国度发现专利。。。目前，热挤压钛铝气门已在某主机厂**型号发起机上实现贸易利用（我国民用领域首例）。。。这些成就将有力提高我国先进内燃机综合机能，推动我国动力设备制作业的高质量急剧发展，助力新资料新质出产力提升。。。

○紧凑型乘用车非充气轮胎

最大载荷710kg（单胎），最高时速150km/h，凭据紧凑型乘用车轮胎型号进行开发。。。在第一代非充气轮胎的基础上，从轮胎底部承载技术发展至轮胎全局承载技术，重量得到减轻，机能得到加强。。。并与吉林大学针对轮胎动力学技术共建风洞试验场，是国内首条经轮胎风洞尝试场测试后得到反馈数据的产品，综合行驶机能与充气轮胎靠近。。。

○两轮电动车非充气轮胎

最大载荷75kg（单胎），最高时速25km/h，凭据市场保有量最多电动自行车轮胎型号开发。。。该产品可进行多色彩搭配，目前已凭据ID设计出深海蓝、、周到红、、奶油白、、传统黑等四款色彩，并且凭据消费者分歧等待，可进行混色搭配。。。已约请多名消费者进行非充气轮胎履历，目前网络数据累计测试超5W公里，消费者反馈超预期履历，路感优良且无需不安极限、、碎石、、台阶等易于粉碎传统充气轮胎路况。。。

 

联系BETWA西汉姆联

展会功夫：11月6日-10日

展会地址：四川省绵阳市绵阳国际会展中心

展位号：A展馆前沿科技展区产学研板块

电子邮件：wangyf@jihualab.ac.cn

联系电话：18666526676